tzxnef作为单晶和多晶硅生产的保护气体，如何选择更高纯度的氩气是硅晶体生产中的一个问题，以提高硅晶体的质量。通过该装置的使用，当氩气纯度小于1ppm，水分含量小于1ppm时，生产的单晶硅氧碳含量小于0.5ppm，延长了单晶硅的使用寿命，满足了要求，赢得了客户的满意和市场的需求。
氩气。
在等离子清洗机的表面活化清洗中，相对来说，混合气体可以达到更好的处理效果，常见的是氩气和氧气的混合物。另外，由于氩的分子量较大，电离后产生的粒子较重，在电场作用下氩离子的动能高于其他活性气体，所以效果更显著。
氩气泄漏的处理措施。
迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。